联系我们

北京思纳珂科技有限公司

(半导体制造专业供应商

办公地址:

一:北京市 平谷区 兴谷开发区平翔路9

二:北京市 海淀区 回龙观38号院21

电话:010-80984370 

传真:010-69958029

手机:18601279164
联系人:高先生
,王先生

邮箱:bjsnark@163.com

网址:www.bjsnk.com

QQ1262858591

微信:W1262858591








技术园地
思纳珂流量计在半导体制造设备上的应用

前工程
硅锭切割工艺:金属转子流量计 ,用于监测切割液的流量稳定
硅片氧化、化学气相沉CVD、 离子注入工艺 :气体质量流量控制器,严格控制几路气体(O2,H2,N2,Ar, HCL
)的流量值,使工艺稳定。
硅片光刻工艺:耐腐蚀玻璃转子流量计\超声波流量计, 应对一些显影液等工艺流体。
硅片刻蚀工艺:气体质量流量控制器,严格控制几路气体(O2,H2,N2,Ar, HCL
)的流量值,使工艺稳定。
硅片清洗工艺:超声波流量计\涡街流量计\浮子流量计\流量控制器, 控制工艺药液和去离子水的流量值。
化学机械平坦化CMP工艺:流量控制器,应对一些化学药液和Slurry抛光液等,精确控制流量值。

后工程
硅片划片工艺:浮子流量计,监控几个划片主轴的制冷纯水的流量值.

硅片粘片工艺:浮子流量计, 监控几路氛围工艺气体的流量值稳定.
硅片键合工艺:浮子流量计, 监控几路氛围工艺气体的流量值稳定.

上一篇:流量控制器在半导体制造设备CMP的应用    下一篇:思纳珂提供半导体、液晶厂用流量计的场合

版权所有 © 北京思纳珂科技有限公司        半导体制造设备流量计解决方案  专业供应商  

备案/许可证编号为:京ICP14062060                    24小时客服热线:18601279164