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热式质量流量计
气体质量流量控制器

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NM-1500热式质量流量控制器 应用:半导体氧化炉,扩散炉,刻蚀机,生物化学,分析仪器等。
优势/特点: 小流量,价格略低。流量可控,重复性好
测量介质: 氧气、氮气、空气、氦气、氩气、二氧化碳、等
测量量程: 空气:最小 0~ 10mL/min(nor),最大 0~ 150 L/min(nor)
连接方式: 3/8"SWL,  1/4"SWL ,3/8"VCR,  1/4"VCR
流体粘度:  
流体压力: 0.29-0.49Mpa  。耐压0.98Mpa
流体温度: 15~35
精度: 2% FS
材质: Main body/SUS316
输出: DC 1~5V  or DC 4~20mA 。RS485
电源: 24V DC ,15V DC
备注: 模拟和数字输出可选

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